1.负责等离子刻蚀设备在芯片制造中的选型及应用;
2.等离子刻蚀设备系统设计、调试;
3.负责等离子刻蚀设备原位监测系统的评估及改造性安装,及后续升级;
4.相关技术文档的编写与管理;
5.完成上级安排的其它事项。
1.机械、微电子、电子工程、等离子体物理等相关学科全日制硕士及以上学历;
2.具有模电、数电、微波、电磁场、射频电路和等离子体仿真方面的专业背景;
3.精通等离子刻蚀工艺,熟悉刻蚀机台的设计对工艺的影响;
4.具有等离子刻蚀设备开发经历。