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昨天有个问题
目前咱们LD的外延是同质多还是异质多呀?如果能简单说一下理由的话最好。
好,简单把这个梳理一下
LD,就是半导体激光器二极管,异质要看哪个是哪个层面的异质。先看结论,再做分析。第一,激光器PN结,从同质结到异质结,这是一个异质路线,目前光模块中激光器几乎是100%为“异质”第二,激光器波导结构,从同质限制到异质限制,这也是一个异质路线,目前光模块中约五五分,场景不同,选择不同。第三,激光器的光栅,从异质掩埋到表面光栅,这也是一个异质路线,DFB/DBR等类型激光器绝大部分选择异质掩埋型,少数科研选择表面光栅,FP等类型则无需光栅,也就谈不上多少之分了。第四,激光器的衬底,从同质衬底到异质衬底,这也是异质路线,传统激光器厂家选择同质衬底,硅光集成厂家又分为两类,一部分选择独立激光器芯片+独立的硅光其他功能,另一部分如Intel等厂选择异质集成激光器。进入主题
第一,激光器PN结,从同质结到异质结
很早的时候,我们用半导体做激光器,是同一种材质,在P型和N型半导体结合处,由于存在载流子聚集,把载流子的动能(也就是电流)转为光能辐射出来。

只不过,同质结的压力在于电光效率极低,需要在液氮的超低温下工作一小会儿,只能验证原理,根本无法产业化。
后来有了异质PN结,用两种材料来做,对载流子有很好的“控制”作用,电光效率很高。

既然有了异质结,很快就实现了双异质结,就是现在的“汉堡包”结构,中间是我们俗称的有源层、增益层、活性层等等。
这个有源层也从之前的大块型,到超薄型的量子阱,再到多层量子阱,一步步走到现如今的常见“多量子肼” 双“异质”PN结的时代。

异质结的电光效率很高,主要是拦截动能用来辐射光能,这是从半导体到光学的整个发光历程,由于效率提高,废热变小,可以实现从超低温到普通室温(20-40℃)工作,后来又可以实现略高温的(70-95℃)的工作。
异质结有个巨大的隐患,就是两种不同的材料的结合面,由于两种材料晶格常数不一致、热膨胀系数不一致、热导率不一致,存在可靠性风险。

由于两种材料晶格常数不一致、热膨胀系数不一致、热导率不一致,存在可靠性风险。
由于两种材料晶格常数不一致、热膨胀系数不一致、热导率不一致,存在可靠性风险。
这几种不同层面的异质所存在的可靠性风险,基本都源于这几项,有些能解决,有些解决不了。
在双异质结,部分解决了晶格常数一致性的问题。从而实现了长期工作的可能性。在70年代,从研究到产业的跨越,这个贡献是里程碑式的。
InP材料体系采用InGaAsP或者AlGaInAs不同元素配比,调整到与InP适配的参数,其次量子阱采用张应力与压应力的交错叠加分布,来降低芯片的内部应力,提高可靠性。而GaAs体系则不行,需要控制异质层的“厚度”,不要太厚,也能勉强实现产品化。
第一层小结
第一种异质的产业分布状态100%都是异质结构,但是有些厂家有能力做,也就是有MOCVD(或MBE)外延能力的厂家。比如华为海思、海信光子,源杰等等。另外一种厂家,放弃这个层面,选择从联亚等厂购买外延片,

第二,激光器波导结构,从同质限制到异质限制
早期看横向结构,不管单模还是多模,至少先做出来是吧。所以横向结构的条形是没有限制的。


后来在光纤传输中,单模比多模传的远,传的信息量大,就需要控制单模,也就是单横模,脊型限制属于同质限制。原因是用上方的脊型来限制下方的波导,也能限制住,但属于隔山打牛,红色的波导两侧都是“同质”材料啊

业内还有一种是真正的单模限制,把有源层切断,用异质材料填充


BH结构的好处十分明显,各项性能参数都能提高,坏处也很明显,就是两种材料晶格常数不一致、热膨胀系数不一致、热导率不一致,存在可靠性风险。还有一个难处,就是做BH需要反复回炉外延,这种可靠性风险就被叠buffer了。
第一类场景,是100%需要异质结,做得了的就做,做不了的就去别家买。第二类场景这是各有各的选择思路。比如性价比权衡,同质波导限制的RWG,性能不好,但是好做便宜可靠性略高。异质限制的BH性能很好,但工艺复杂,可靠性风险大。比如艺高人胆大的产业选择现象,虽复杂的BH,也有厂家依然做的很好。虽简单的RWG,依然有厂家做不好。还有就是巧妇赞为无米之炊的尴尬,有些厂家不具备外延能力,是从别家买回来的外延片,那么他就没办法在自己工厂制作BH,那是需要反复回炉外延的。没有外延炉,干不了。
第三,激光器的光栅,从异质掩埋到表面光栅这是和激光器类型相关的,FP激光器无需制作光栅,就不存在同质还是异质的选项。
咱常见的DFB,光栅是异质掩埋的,因为需要两种不同折射率材料来做光栅。

产业绝大部分选择异质掩埋光栅,有些在上方有些在下方,在下方难做,但性能略高。原因是反复后期的高温制作会破坏下方光栅的形貌。

有一部分学术型的教授们,提出表面光栅,这是能做高对比度的设计,也就是用超低折射率的“空气”来替代其中一种材料,形成高低折射率的强对比。


第三小结,部分激光器类型需要光栅,绝大部分产业界选择异质掩埋型光栅,无非是上光栅还是下光栅。
如何观察产业? 有些公司做得了DFB,有些公司只能提供FP,这就是区别。和第一类一样,基本不存在异质还是同质的选择,只有做得了就做,做不了就放弃。
第四,激光器的衬底,从同质衬底到异质衬底,
传统半导体激光器,是在InP衬底上制作InP体系的激光器,在GaAs衬底上制作GaAs体系的激光器。衬底是“同质”

近十来年,有异质衬底,昨天写的异质生长,以前写过无数的Intel、UCSB、IMEC、HP、Juniper、NTT这些个硅光集成路线中集成了“激光器”的厂家们。
均属于异质衬底,硅光的衬底+InP的功能区。



第四小结,这个产业的分布属于二八型,少部分是异质衬底,大部分是同质传统方案。
异质衬底,可以用来做硅光集成的“大”集成方案,因为硅不发光,解决不了光源的问题,如果能把InP的功能区,GaAs的功能区,来做光源,属于大集成方案。
难处是异质材料晶格常数不一致、热膨胀系数不一致、热导率不一致,存在可靠性风险,这些困境,产业界正在逐步的解决过程中。
既有较大量的发货数量,也有较长时间的产业部署,还有技术问题的不断解决。
在激光器原理解析中,有第一二三层的分析,下一期安排在2022年12月24号,在《用于光模块硅光集成技术与市场》行业报告中,有第四个层级的具体分析。以上可详询我同事,18140517646