Y7T105新飞通 早期用于WDM的窄线宽激光器
新飞通2011年收购了一个公司，Santur，他家的那个激光器虽然已经是20年的产品设计了，但依然摆在新飞通的官网页面上，这是早期一代，后来有了基于收购的emcore的外腔激光器，再再后来要做基于硅光微环谐振腔的小型外腔激光器，也是咱们这两天聊的内容。
新飞通这个激光器，是个12选1的概念，与Y7T101的2波导阵列， Y7T29的4波导阵列，在理念上没有本质区别。
二十年前的波分复用，对波长的精准度要求很高，在一个wafer里去挑选合适波长的芯片，良率很低。
新飞通（Santur）就做了个12个激光器阵列，每一个约4微米宽的异质掩埋型波导，就是一个激光器。
这12个波导，每一个都是异质掩埋型，以前我们聊过的。2021与2020年的光模块技术交流内容变化，里也提了，早些年的异质掩埋BH是下图这样，后期的SI-BH是为了提高带宽做的改进。
12个激光器，每一个的P电极都是各自引出的，其中一个给电流，这个激光器就发光，N电极是共用电极，在底部。
做12个激光器，为了选出合适的波长和边模抑制比。InP基DFB 1550nm左右，需要的光栅周期约240nm，但光谱宽度、边模抑制比、中心波长等主要参数其实是不受控的。
这是因为，解理面相对于光相位来说是随机状态，CWDM/灰光等简单应用，波长精度要求不高，还略能选出符合要求的芯片。
DWDM，则不同，波长准确度要求相当高，二十年前的工艺，成本很高，Santur的思路是，在一组激光器阵列里，设计三组不同周期的光栅，且每个周期光栅按90度相位逐次排列，总共形成12种不同组合。
选出符合波长要求的机会大大增加。
另外，电极键合焊垫在波导两侧，而电流的导入是需要跨过一些区域的。
需要电极接触的，在紫色钝化层（也是高阻区）开窗来做P型接触。
只是过渡，不需要接触的，就不开窗，保持电隔离。
就能做12个P电极分布来选型了。
这是常见的结构。
当时的Santur还做了功能二次提升，可以加光衰，用电吸收做衰减控制。
同时电吸收材料的折射率温度变化和DFB不一样，电吸收的波长与温度漂移是每度约0.5nm，DFB的波长与温度漂移是每度约0.1nm
为了保持波长一致性，需要在整体TEC温度控制的前提下，进行二次温度精准对标。
前端有个蓝色部分，是两个电极的绝缘隔离，放大如下所示。
小结：
阵列是为了选出波长，提高良率
掩埋型波导结构，是为了提高电光效率，
可选，加衰减控制，与InP DFB适配的衰减一般用电吸收（类似EML的装置，只是调制频率很低而已。）
如加衰减，需要温度精准控制，Santur有加热阻的进行二次温控的工艺。