Y7T116 Lumentum相干接收的可调光衰

更新时间：2021-04-26 08:04:11 阅读量：632

相干接收的集成是信号光与本地震荡光的干涉，干涉的作用，是让信号光干涉相长，其他部分不变，甚至干涉相消，通过平衡探测器与TIA的组合，去除直流部分，保留交流信息，最终达到提升信噪比的作用。

Y5T122 相干接收之平衡探测器

之前写过为什么相干可以提升信噪比，不赘述

相干接收对平衡探测器PD1和PD2采集的光电流响应度的一致性要求很严格，否则直流信息的滤除不彻底，劣化灵敏度。

通常，会在干涉段做可调光衰，相干波导，有用铌酸锂的，有InP的，也有硅的，今天写一下Lumentum的设计。

他家用的是InP探测器，InP波导，有PIN的，有NIN的，Lumentum结构偏美式，类似Y7T113 新飞通的InP调制器、相干接收的波导结构

PIN形态

PIN的本征层可以做波导，如果加反偏电压的话，能设计成电吸收器，电吸收，就是外加电场来控制光的吸收量，也就是衰减器。

做波导后，先钝化，镀介质膜，一是做半导体与外界的氧气/水汽的阻挡层，（这在5月份有一期单聊钝化、气密性的器件设计与封装），二是钝化层是玻璃或陶瓷，氧化物/氮化物等等，也是电绝缘层。

需要做光衰的部分，钝化层开窗，露出金属和半导体接触的位置，以便镀金属且反偏来控制吸收

两侧波导，镀电极，这都是P电极（接负电压），另一侧电极在衬底减薄后可镀在底层。 （也有些厂家，堵在凹陷的N型InP上方，做顶面电极）

这就可以调控两侧波导衰减量，让PD1和PD2的响应度一致，经过TIA的正负输入端，直流信息相消，得到相位和幅度信息，解调后，输出更好的灵敏度。