Y7T133 Inphi的220nm多模干涉偏振分束

更新时间：2021-05-13 08:05:49 阅读量：965

基于PLC平面波导的多模干涉MMI，可以做光开关，Y6T350 硅光集成交换机

可以做分束器，可以做偏振分离，等等

通常多模干涉的部分，大多数厂家设计成矩形， 这样在多模功率干涉长度位置上找到合适的出口，进行分偏振

这样的PLC，对波长较为敏感（也就是分离的带宽较小）



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且需要做偏振不敏感处理，如果采用硅波导来做，硅波导或者调制器偏偏常规工艺是偏振敏感的，Y7T85 为何硅光集成是偏振敏感的？？

在硅调制器中，需要做偏振分集，偏振旋转的工作。



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如果在硅的PLC平面波导上，降低偏振敏感，要进行加厚处理，但这时候就对工艺能力要求更高，增厚意味着侧壁粗糙对光波导产生很大的损耗。



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Inphi在这个常规多模干涉矩形结构上做了一个收腰处理，形成等腰梯形，两侧的宽度差约为1微米，在常规的220nm厚度的标准硅光工艺平台来通过各自的干涉路径来达到分离TE和TM的目的



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5月16号见



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