前几天有小伙伴问,什么是HCG VCSEL? HCG,high contrast grating 高对比度光栅,
我大概理一理这个技术,HCG的概念是常博士提出的,有好些个年头了,创业公司也开了好些家了,这一次的状态说是“具备量产”的能力,具备俩字很重要。
为什么要用HCG光栅?
高对比度,才能达到发射的效率,发射的效率高,才能组成我们的谐振腔的谐振效率。
常博团队给的新闻图片,说是原本的VCSEL设计,需要200多层,采用HCG只需要一半,一百多层,就可以。
用HCG来替代顶层DBR
这里头没有说的是,普通的VCSEL,其实不需要200多层啊,因为传统的VCSEL用的材料折射率差很大,大约20对作用就能达到99%反射率。
能用到二百多层的其实是InP,我在2018年写了很多个与InP相关的VCSEL的难度。
我们追述一下常博士的2010年的文章,第一个重点是波长1550nm附近,
用的材料是InP
原图不清楚,我重新画一下,来解释。
第一个问题,是为什么需要1550nm?
无论是物联网,还是手机3D,还是激光器雷达,这些都是在空间里传输的,都有可能扫射在人的面部。
400-1400nm,对人的眼底有伤害,(Y5T299,有些这个标准),按照激光器安全的标准,不允许400-1400nm的输出功率太大,不是不能做大,而是不允许做的太大,这就意味着激光雷达于功率安全性,不能做大,导致扫描距离受限,“晴天200米,刮风减半,下雨全无”,听过这句话是吧,空气对激光有损耗,且损耗与天气相关。
但使用1550nm的光,就没有这些顾虑,可以做的功率大些。
那么,要实现1550nm的激光,辐射材料是InP系的,InP与传统的GaAS晶格不适配,有严重的可靠性问题。
那就得选择InP系的DBR, Y5T256,InP系的材料体系里,能选的折射率差都很小,(GaAs晶格适配的材料体系的折射率差非常大,只需要叠加很少的层就能实现反射),InP体系需要叠加非常多层才能实现反射率
叠加二百多层,意味着电阻很大,热阻很大,可靠性风险很大.....,这也是199x年代,N多专家们想量产长波长的VCSEL,可产业界依然在用DFB的边发射做1310/1550等等光模块的激光器吧
想量产,和是不是能量产,不是一回事。
常老师的想法是这样,用横向光栅,来替代顶层的DBR,实现长波长的激光器,要想替代,就得高对比对,才能实现高反射率。
常老师用空气做光栅的超低折射率材料,实现“高折射率对比”
我放大,看。
2019年,被驳回未授权的一个专利,WO2019217794A1,常老师说,悬于空气中的光栅,缺乏机械稳定性,(就是可靠性问题),继续改进工艺,底部做支撑
这个思路,我理一下,还是HCG,
放大, 红色的是光栅,
光栅的缝隙,用来给底部的高铝层做氧化,形成低折射率的材料,用于替代空气。
氧化,是用高温水汽来,水的分子H2O,氢和铝做置换反应,铝和氧结合。
我们产业链有俩现象
VCSEL的可靠性很重要
光器件做气密封装,能提高寿命,能降低失效率。
原因是一个,害怕氧化。
VCSEL的侧氧化环,用来做电流限制的,这没有办法,性能需要,这也是很多VCSEL大厂出现可靠性问题的主要因素。也是很多VCSEL创业公司在产业化路途中被卡崩的一个环节。
小结一下:
如果是短波长的VCSEL,没有必要做HCG,因为DBR的层数不多。
如果是长波长的VCSEL,有必要做HCG,因为换了材料体系,从GaAs换到InP系。
做HCG,需要高对比度,这才有了空气隙的说法,空气的折射率约等于1,是最低的。
但悬空光栅,有可靠性问题,产业化很难,就需要填充材料,填充的是高铝氧化层
这带来另一个问题,高铝氧化物的折射率比空气大,没办法实现和空气一样的“高对比度”,第二,热阻很大,第三氧化过程本身是故障来源。