Y7T165 IBM异质集成三五族探测器

更新时间：2021-06-14 08:06:17 阅读量：928

今年OFC，IBM发布硅基异质集成的三五族探测器，如下图，演示了50Gbps NRZ的信号，用的是波导端面对接，硅波导与三五族的吸收层对接。暗电流极低，反偏1.5V，暗电流只有0.22nA，不过响应度不高。

尝试恢复一下看，光输入端是通过垂直耦合光栅，导入，硅波导长度300微米，这也是收端损耗比较大的一个原因，下一步不知道IBM如何去解决。

他们尺寸的相对关系，早上做了一个视频，看一下。

圈起来的，里边那个小黑点，就是探测器本器，

放大，宽度400nm，高度220nm，

用的他家的辅助模板局部外延生长，Y7T8 IBM硅基TASE异质集成三五族工艺

可以长激光器，Y7T51 IBM硅光异质集成横向注入激光器结构

当然也可以长探测器，就是咱们本文，他家的TASE辅助模板工艺流程如下，先在SOI的顶层硅上刻蚀出将来要做三五族的空间，然后覆盖二氧化硅，局部开口，将内部的硅腐蚀掉，借助这个二氧化硅形成的空腔，外延生长三五族材料，最后掺杂，金属接触，完成。