在合集2021上的第370-374,写过三菱用于垂直耦合的C波段可调谐的光栅设计以及具体参数。
InP激光器用垂直耦合光栅,与硅波导耦合,形成一个窄线宽可调谐激光器。
这个结构,非常类似新飞通,Inphi,Intel等厂的混合激光器的结构,InP做增益,硅做谐振腔,一般用两个微环做游标效应。
三菱的这个设计,看着像,但实际上还是一个DBR的可调谐,利用两个光栅,前光栅和后光栅设计游标效应,达到波长可调
为什么三菱要这么做,是为了达到外腔激光器的窄线宽的效果,因为外腔,激光器的谐振腔在外部,目的是增加腔长,实现超窄线宽。
汇总一下,就是在原有的DBR可调谐基础上,为了增加腔长,实现外腔窄线宽的设计,采用了类似微环调谐结构的混合激光器。
非常拗口,看一下演变过程,常见的(SG)DBR的可调谐激光器的结构
增加腔长目的是实现窄线宽
腔很长很长时,弯曲折叠一下,原理没变,仅仅是结构变化。
可以采用混合腔,一部分是InP,下图左侧,一部分用硅波导来做,下图右侧部分。
一个不间断的线,用螺旋式盘线方式,能做到小尺寸。
就说我这螺旋画线的手艺棒不棒吧?
刻个台阶,准备焊激光器
完成。
在原有的DBR可调谐激光器基础上,采用了类似微环调谐混合激光器的结构,增加腔长,实现外腔可调谐激光器的窄线宽。