Y8T50 磷化铟衬底生成工艺
三年前写过一个Inp晶体的方法，Y5T250 激光器衬底--InP单晶
这是把InP多晶用垂直CZ提拉法制成单晶体。
整个的InP晶体，首先需要制作多晶，再用Y5T250的方法做成单晶。今天把多晶工艺写一下。
现在多晶InP的生成最常见的方法，是用金属铟与红磷在石英安瓿瓶中生成，
石英的成分是二氧化硅，（玻璃也是二氧化硅，只是原子的排列略有不同），熔点很高，磷化铟化学反应时，可以保持固体。是很好的用于化学反应的器皿。
安瓿瓶，在咱们看护士打针的那个装药水的小玻璃瓶，密封，中间有个小凹槽。
这个凹槽，是金属铟的熔点很低，在磷化铟的反应温度，金属铟是液体，这个安瓿瓶一定要水平放置，凹槽的位置可以防止铟的液体与磷直接接触，一旦控制不好，气压太大，石英平就碎了。
有这么一个凹陷设计，气体可以过去进行反应，而液体被挡住，避免瓶体被高压炸裂。
安瓿瓶还得设置不同的温度区域，也叫水平温度梯度控制，下图左侧是高温区域，我们在其中一侧放铟，金属铟在156度就熔融成液体。
但这个区域的温度一定要高于1070℃，原因是InP的熔点是1070℃，如果左侧温度低于InP熔点的话，则刚发生化学反应的磷化铟就会在铟区域沉积成粉末，所以要保持左侧温度大于1070℃
接着说右侧的磷，磷有不同的形态，红磷和白磷，因为白磷易燃，还有毒，不能选这个形态，需要选红磷。
选红磷，要非常非常精确的控制红磷表面的温度。
首先，红磷不能成为液态，液态红磷蒸发成气态磷的话，气压在50个大气压左右，石英瓶会被炸裂。
红磷的温度低于590℃，成固体，表面不会升华成气态磷，去产生反应。
另外，红磷表面温度546℃时，升华的其他产生的压力刚好是27.5℃，是磷化铟气体发生反应，且处于气压平衡态的一个温度点。叫离解压。
选红磷，要非常非常精确的控制红磷表面的温度。
首先，红磷不能成为液态，液态红磷蒸发成气态磷的话，气压在50个大气压左右，石英瓶会被炸裂。
红磷的温度低于590℃，成固体，表面不会升华成气态磷，去产生反应。
另外，红磷表面温度546℃时，升华的其他产生的压力刚好是27.5℃，是磷化铟气体发生反应，且处于气压平衡态的一个温度点。叫离解压。
红磷区表面界面温度，最好是刚刚好等于546℃，既能发生反应，也不会炸裂。
左侧温度大于1070℃，一般选1150℃，右侧温度546度，瓶内27.5个大气压，生成磷化铟多晶体。
