大多数采用MEMS反射镜做激光雷达的扫描角度控制时,激光器的角度与MEMS的角度并不相同,就很难做到同一个基板上一起封装,需要分别进行。
三年前华为的一个技术专利,把这个光路图取出来做个解释,收拢到激光雷达系列里。
柱形透镜组合反射片可以一起组装在金属结构中,形成光学路径转折以及光束整形结构。
其次,MEMS和激光器芯片,都用平面放置,可以一起封装。
整体的光路,比传统光路要长一些,多了一个或两个反射,如果是面发射的VCSEL类型,就只需一个反射面,实现平行封装的SEL和MEMS反射镜光路。
如果是边发射的EEL,再多一个反射棱镜,边发射或者是短波长的大功率GaAS体系,或者是长波长的InP体系,都是可以做EEL型结构,相比较SEL型会有更大的电光效率。
在Y9T213见过的。不赘述。
记录一下,降低了后期的封装难度,降低制造成本。