Y10T339 什么是“VCSEL”?

更新时间:2024-12-04 10:12:19 阅读量:539

这两天,突然收到很多留言,问什么是VCSEL

简单科普一下哈

VCSEL,Vertical Cavity Surface Emitting Laser,垂直腔面发射激光器

简单理解,这就是一种(Vertical Cavity Surface Emitting) Laser,(垂直腔面发射)激光器

什么是laser激光器?Laser,Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation受激辐射光放大器,简称激光器

激光器的目的是把光放大,VCSEL既然是一个激光器,它的放大是通过谐振实现的放大。


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我们经常看到的VCSEL的光谱图,是中间放大部分展开细看的光谱,看纵轴,很多是几十个dB的坐标轴刻度。

30dB的意思是10的3次方

40dB的意思是10的4次方

50dB的意思是10的5次方

ok,通过谐振,一部分波长(频率)被放大了数百倍、数千倍,甚至数万倍...


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VCSEL就是采用了Vertical Cavity垂直谐振腔 (Surface Emitting) 进行放大的那一类Laser,垂直腔结构的激光器。


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垂直谐振腔是通过两组DBR实现的。DBR,Distributed Bragg Reflector,分布式布拉格(光栅)制作的反射器件。

上反射+下反射,光被来回反射,产生谐振,这两组DBR就是谐振腔。

既然是垂直谐振腔,那么对应的就有水平谐振腔吧?是的。

那为什么要选垂直谐振腔呢?为了实现“面发射”,


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因为光是有方向性的,在垂直面上设立反射层,光的发射方向也是“垂直”于表面的,有的VCSEL是上表面发光,有的则是通过衬底下方发光,但都是垂直于晶圆表面的。


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在光模块里的VCSEL,说实话,传输距离也短,可靠性也不好做,波长也不是理想波长,带宽也不够大....,可为什么还很执着于选择VCSEL呢?就在于“面发射”这个特点,太好了。

一个晶圆


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我们的DFB激光器、EML激光器,那些个可都是边发射的结构,性能虽好吧,可侧边发光对整体工艺制造成本压力很大。


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边发射需要把晶圆切开,或者“刻蚀”挖出深沟槽,才能让光发出来进行检测。

一个晶圆几千、几万颗激光器,边发射的生产制造检测成本增加很多。

用面发射,不管它是表面发射还是底面发射,都具有“低成本”的相对属性。


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VCSEL是采用垂直谐振腔VC进行谐振放大的激光器L,可实现面发射SE,具有低成本的属性。

在大多数光模块里用的VCSEL其实是VCSELD,是垂直腔面发射激光器二极管(Diode)。

绝大多数的VCSEL是用的二极管电路结构,极少部分(如Finisar)用的是NPN的三极管,或者叫隧穿二极管的电路结构。


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绝大多数VCSEL选择的是“低对比度”DBR光栅,对比度说的是折射率差,大多数用在光模块里的850nm波长附近的VCSEL的DBR材料的折射率分别是3.5和2.9,这就是传统的低对比度的光栅。

Y10T73 一些材料的折射率曲线


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少部分厂家采用悬空结构,引入空气折射率约为1的特点,实现high contrast grating 高对比度光栅,折射率差越大,反射越强。但悬空会带来可靠性风险。


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大多数VCSEL把光学谐振腔DBR与半导体PN电路合并,用半导体材料做DBR,兼顾了电学与光学两个维度的功能。

这就是常说的有源DBR,有源是说可以加载电流,半导体么,半瓶子醋也有醋,是吧,半字不重要,导字可用,毕竟是能导入电流的材料。


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少部分厂家用的是无源DBR,就是用绝缘体的光学材料制作DBR,绝缘体么,不导电,无源。

为什么用无源DBR,是为了降低P型半导体材料的串联电阻,提高带宽。


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绝大多数的VCSEL就一个垂直谐振腔,少部分VCSEL是以垂直谐振腔为主,加一组或多组辅助的水平横向谐振腔。

为什么加横向腔做辅助,可以减少激发的模式,可以提高带宽....,等等。


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闲聊几句算是简单回答留言,再多内容的话也可以看一眼我整理的一份材料。


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